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各行業(yè)對凈化車間潔凈度等級的要求

發(fā)布日期:2017/2/14 21:09:12   關鍵字:安徽申凈建工

現(xiàn)今,凈化車間潔凈技術已廣泛應用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制,由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同,使用要求不同,因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標均不會相同。所謂凈化車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應該包括:空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學品和生產(chǎn)設備、工器具等的污染物控制以及微振動、噪聲、靜電的控制、防止等。所以凈化車間的設計不僅要求對室內(nèi)的空氣進行凈化達到規(guī)定的空氣潔凈度等級,還必須防止因凈化車間的建造用材料、裝飾方式不當帶來的污染,有的凈化車間還要求供給超純水、超純氣體和高純的化學品等。

1、半導體集成電路要求的空氣潔凈度等級

集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度,不同工序的空氣潔凈度等級是依據(jù)可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。

舉例說明:

例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房,凈化車間設計按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路,圖形特形尺雨1.0um,控制粒子粒徑0..1um.

凈化車間空氣潔凈度等級要求:

光刻、勻膠區(qū)ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū)ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū)ISO 5級

例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房,凈化車間設計按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um,控制粒子粒徑0.2um.

凈化車間空氣潔凈度等級要求:

光刻、勻膠區(qū)ISO 3級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等操作區(qū)ISO 4級
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴散等維修區(qū)ISO 6級

2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

隨著信息產(chǎn)業(yè)技術的發(fā)展,許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過程的微細化,日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級和控制凈化車間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類高純物質(zhì)的供給質(zhì)量,目前國內(nèi)外還沒有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定,各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術、生產(chǎn)工藝設備、生產(chǎn)用原輔料以及凈化車間運行的實踐經(jīng)驗確定設計建造凈化車間的空氣潔凈度等級。

舉例說明:

例一、薄膜晶體管彩色液晶顯示器生產(chǎn)用凈化車間,TFT-LCD具有體積小、質(zhì)量輕、易攜帶、耗電低、色彩逼真、大容量、高分辨示等優(yōu)點。

凈化車間空氣潔凈度等級,控制粒子粒徑為0.3um

清洗、涂膠、曝光間ISO 4級
顯影、刻蝕間ISO 5級
成盒間ISO 5級
濺射、CVD間ISO 6級

例二、某高密度磁帶生產(chǎn)用潔凈廠房、凈化車間控制微粒粒徑0.5um

凈化車間的空氣潔凈度等級要求

涂布頭ISO 5級
備件、切帶、帶基、測試、涂布間和烘干、固化間ISO 6級
組裝、維修間和部分原料庫ISO 7級
砂磨、化驗間和配件間ISO 8級

成品庫和部分原料庫 準潔凈間

3、精密機械、精細化工等產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級

例一、一個陀螺儀生產(chǎn)用凈化車間

凈化車間空氣潔凈度等級要求

裝配間ISO 6級
軸承加工間ISO 5級

例二、一個感光膠片生產(chǎn)用凈化車間

流延機頭部,涂布機頭部ISO 5級
涂布室,流延機室ISO 5級

等等......

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